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半導體研磨

所属分类:
修整工具
晶圓磨削砂輪由金剛石磨料為主要的砂輪產品,有陶瓷結合劑,樹脂結合劑,金屬結合劑,電鍍結合劑等不同的結合方式而製作的砂輪,根據不同應用製作出不同形態的砂輪,劃片刀,倒邊輪,拋邊輪,減薄輪,鑽石碟 cmp 修整器,拋光輪,研磨液等產品
特別減薄陶瓷結合劑細粒度砂輪,採用自研的 PoreX 技術,採用液態工藝,保證產品的高度穩定性,具有獨特的微觀結構,應用於半導體領域的研削工藝。
技術特點:
(1)超級穩定性
(2)使用壽命長
(3)磨削阻力低
(4)高研磨效率
(5)高品質表面
产品详情

RIHON 半導體研磨

目前在半導體研磨,RIHON可以實現對晶圓的定向平面加工,以及研發出背面減薄砂輪,可以縮短時間的同時提高加工品質,降低磨削損傷,還有晶圓減薄砂輪,用於離散器件等的前磨、后磨還有精磨,RIHON提供高精度的金剛石砂輪方案,幫您解決超精密研磨行業材料及器械的磨削難題。

詳細參數表

粒度范围

#400– #12000

磨料类型

金刚石

结合剂类型

树脂结合剂
金属结合剂
电镀

规格尺寸

可定制

硬度等级

H – R(根据应用定制)

性能指标

切割精度

± 3 μm

表面粗糙度

≤ 0.1 μm

使用寿命

≥ 3000次切割(依材料和工艺)

应用领域

典型工艺

晶圆切割、划片、倒角、研磨抛光

主要运用

硅晶圆 (Si)、碳化硅 (SiC)、蓝宝石 (Sapphire)、化合物半导体 (GaAs、GaN)

适用设备

DISCO / ADT / Tokyo Seimitsu / Okamoto等主流划片机

推薦行業

  • 光學與光電行業
    •非球面/自由曲面光學鏡片
  • 航空航天行業
    •衛星慣性導航零件
    •航空發動機葉片榫槽加工
  • 醫療與生物工程
    •人體關節表面拋光
    •醫療器械納米級表面處理
  • 新能源電車行業
    •電機軸高精度磨削

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